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數控三坐標測量機使批量測量的效率有所提高，精密三坐標升級，通過對給定工件的測量進行編程，可以實現全自動的快速測量。三坐標測量軟件沒有引入CAD功能之前，對測量程序的編制要求專業人員對應圖紙進行編程，這種編程方法使用較為復雜，且對操作人員要求較高。有一種方法就是使用三坐標測量軟件的自學習編程功能，在對工件進行實際測量的同時自動生成測量程序。當再次測量同樣的工件時即可調用此程序進行自動測量。由于這種方法簡單易用，適應面廣，因此在業內被廣泛使用。
但由于這種編程離不開實際工件，所以也就帶來了很多難以克服的缺點。一是由于編程離不開硬件環境，必須要將給測量機配套的氣源等打開，使測量機能正常運行方能進行編程，這樣編成較為繁瑣。二是編程離不開工件，所以就必須等工件加工完成后才能進行編程，這樣便會降低了工作效率從而影響生產。坐標機測量軟件中引入CAD功能之后，精密三坐標改造，由于可在脫機狀態下通過對CAD模型進行虛擬測量，從而可完成自學習編程的過程，因此解決了以上問題。無論生產是否進行，只要將設計部門設計的CAD圖紙文件輸入到測量軟件中，就可以進行編程。等工件加工完成就可以進行程序測量，這樣就大大提高的生產效率。
1) 力變形誤差
在實際的坐標測量中，雖然各個部件具有較高的剛性，沙坪壩精密三坐標，但力變形是不可避免的。
2) 溫度誤差
溫度誤差又稱為熱誤差或熱變形誤差，它不是溫度本身的誤差，而是由于溫度因素而引起的幾何參數的測量誤差。形成溫度誤差的主要因素是被測物體和測量儀器的溫度偏離20℃或被測物體的尺寸和儀器的性能隨溫度變化。誤差修正分為實時修正和非實時修正。由于系統誤差不便進行實時修正，精密三坐標維護，在實踐中常常只對溫度誤差進行實時修正。橫臂梁式三坐標測量機的穩定誤差可表示為:
?l=l(αp-αs)?t式中:
αp，αs被測工件及橫臂梁材料的線膨脹系數，1/℃ ?t橫臂梁材料相對于標準溫度(20℃)的偏差， l橫臂梁長度。
3) 探測誤差
三坐標測頭的探測誤差是影響測量不確定度的重要因素，不同的測頭探測誤差也不同，一般包括瞄準誤差、測端等效直徑的影響、各向異性、附件誤差等。
4) 動態誤差
動態誤差必然存在于動態測量中，對其研究起步較晚且過程復雜，是近年來的研究熱點。動態誤差一般分為兩類:一類是由組成系統的各部分元件本身的靜態和動態誤差性能不理想而引起的動態誤差，另一類是由系統內外各種干擾引起的動態誤差。
5) 幾何誤差
三坐標測量機由相互垂直的3個軸組成，各軸由滑塊-導軌系統實現直線運動。由于制造偏差，滑塊在軸向有定位誤差，在另兩個方向上有直線度誤差及3個方向的角擺誤差。又由于裝配等因素造成3個軸之間存在垂直度誤差，三坐標測量機共有21項幾何誤差。
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